掃描電鏡等離子清洗機

產品型號： CIF-SEM

所屬分類：CIF電鏡等離子清洗機

更新時間：2020-04-18

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簡要描述：CIF 掃描電鏡等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，並可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用於SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

詳細說明：

品牌	CIF	產地類別	國產
應用領域	醫療衛生,環保,食品,化工

CIF掃描電鏡等離子清洗機

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，並可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用於SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

產品特點

技術參數

產品型號	CIF-SEM
法蘭接口	KF40
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調，自動匹配器
氣體控製	標配雙路50毫升/分氣體質量流量控製器（MFC），精確測量自動控製氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控製	美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量範圍1E-5Torr
真空保證	真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控製，中英文互動操作界麵
電源/功率	220V，50/60Hz，300W
可選配件	可選氧氣、氮氣、氫氣發生器，氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min
質量保證	二年質保，終身維護